Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
définition de dessin par microlithographie — mikrolitografinis paveikslo sukūrimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. microlithographic patterning vok. mikrolithografische Strukturierung, f rus. формирование рисунка методом микролитографии, n pranc. définition de dessin… … Radioelektronikos terminų žodynas
microlithographic patterning — mikrolitografinis paveikslo sukūrimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. microlithographic patterning vok. mikrolithografische Strukturierung, f rus. формирование рисунка методом микролитографии, n pranc. définition de dessin… … Radioelektronikos terminų žodynas
mikrolithografische Strukturierung — mikrolitografinis paveikslo sukūrimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. microlithographic patterning vok. mikrolithografische Strukturierung, f rus. формирование рисунка методом микролитографии, n pranc. définition de dessin… … Radioelektronikos terminų žodynas
mikrolitografinis paveikslo sukūrimas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. microlithographic patterning vok. mikrolithografische Strukturierung, f rus. формирование рисунка методом микролитографии, n pranc. définition de dessin par microlithographie, f … Radioelektronikos terminų žodynas
РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ — метод микроэлектронной технологии, заключающийся в формировании с субмикронным разрешением защитной маски заданного профиля на поверхности подложки; осуществляется при помощи рентг. излучения длиной волны l 0,4 5 нм; один из методов… … Физическая энциклопедия
